中科院微電子中心出產的0.8微米工藝光刻機，其光源和光電成像照準系統(tǒng)都是光電所的杰作。作為光電所的一把手，趙院長對光刻機也算是大半個行家了。
只一眼，他就認出了這套光刻機的出身。1995年上半年微電子中心，才完成了0.8微米工藝光刻機的研發(fā)。產量在那里明擺著，一共也沒有生產出多少來。沒辦法，中科院當幕后老板，國內最有可能向這方面發(fā)展的夢幻集團，都放棄了走技術路線。除非國家上馬...
中科院微電子中心出產的0.8微米工藝光刻機，其光源和光電成像照準系統(tǒng)都是光電所的杰作。作為光電所的一把手，趙院長對光刻機也算是大半個行家了。
只一眼，他就認出了這套光刻機的出身。1995年上半年微電子中心，才完成了0.8微米工藝光刻機的研發(fā)。產量在那里明擺著，一共也沒有生產出多少來。沒辦法，中科院當幕后老板，國內最有可能向這方面發(fā)展的夢幻集團，都放棄了走技術路線。除非國家上馬...